Structura senzorului piezoresistiv

În acest senzor, banda de rezistență este integrată pe diafragma de siliciu monocristalină prin procesul de integrare pentru a face un cip piezoresistiv din siliciu, iar periferia acestui cip este ambalată fix în coajă, iar cablurile electrodului sunt conduse. Senzorul de presiune piezoresistivă, cunoscut și sub denumirea de senzor de presiune în stare solidă, este diferit de ecartamentul de tulpină adezivă, care trebuie să simtă forța externă indirect prin elemente sensibile elastice, dar simte direct presiunea măsurată prin diafragmă siliciu.

O parte a diafragmei de siliciu este o cavitate de înaltă presiune care comunică cu presiunea măsurată, iar cealaltă parte este o cavitate de joasă presiune care comunică cu atmosfera. În general, diafragma de siliciu este proiectată ca un cerc cu periferie fixă, iar raportul dintre diametrul și grosime este de aproximativ 20 ~ 60. Patru benzi de rezistență la impuritate sunt difuzate local pe diafragma de siliciu circular și sunt conectate într -o punte completă, dintre care două sunt în zona de stres compresivă, iar celelalte două sunt în zona de stres de tensiune.

În plus, există și diafragmă pătrată de siliciu și senzor de coloană de siliciu. Senzorul cilindric de siliciu este, de asemenea, confecționat din benzi rezistive prin difuzie într -o anumită direcție a unui plan de cristal al cilindrului de siliciu, iar două benzi rezistive de stres de tracțiune și două benzi rezistive de stres compresiv formează o punte completă.

Senzorul piezoresistiv este un dispozitiv realizat prin rezistența la difuzie pe substratul materialului semiconductor în funcție de efectul piezoresistiv al materialului semiconductor. Substratul său poate fi utilizat direct ca senzor de măsurare, iar rezistența la difuzie este conectată în substrat sub forma unui pod.

Când substratul este deformat de forța externă, valorile de rezistență se vor schimba și podul va produce o ieșire dezechilibrată corespunzătoare. Substraturile (sau diafragmele) utilizate ca senzori piezoresistivi sunt în principal napolitane de siliciu și napolitane de germaniu. Senzorii piezoresistivi de siliciu din siliciu din napolitane de siliciu, deoarece materialele sensibile au atras din ce în ce mai multă atenție, în special senzorii piezoresistivi în stare solidă pentru măsurarea presiunii și vitezei sunt cei mai utilizați.