Se aplică senzorului de presiune comună de combustibil Passat 06E906051K

1. O metodă pentru formarea unui senzor de presiune, cuprinzând:

Furnizarea unui substrat semiconductor, în care un prim strat dielectric intermediar, un prim strat dielectric inter -strat și un al doilea strat dielectric inter -strat se formează pe substratul semiconductorului.

O placă de electrod inferioară în primul strat dielectric al stratului intermediar, un prim electrod reciproc situat pe același strat ca placa de electrod inferioară și distanțată.

Conectarea straturilor;

Formând un strat de sacrificiu deasupra plăcii polare inferioare;

Formând o placă de electrod superioară pe primul strat dielectric al stratului, primul strat de interconectare și stratul de sacrificiu;

După formarea stratului de sacrificiu și înainte de formarea plăcii superioare, în primul strat de interconectare

Formând o canelură de conectare și umplerea canelurii de conectare cu placa superioară pentru a se conecta electric cu primul strat de interconectare; Sau,

După formarea plăcii superioare a electrodului, se formează caneluri de conectare în placa superioară a electrodului și primul strat de interconectare, care

Formarea unui strat conductiv care conectează placa superioară a electrodului și primul strat de interconectare în canalul de conectare;

După conectarea electrică a plăcii superioare și a primului strat de interconectare, îndepărtarea stratului de sacrificiu pentru a forma o cavitate.

2. Metoda de formare a unui senzor de presiune conform revendicării 1, în care în primul strat

Metoda de formare a stratului de sacrificiu pe stratul dielectric al stratului între straturi cuprinde următorii pași:

Depunerea unui strat de materiale de sacrificiu pe primul strat dielectric al stratului intermediar;

Modelarea stratului material de sacrificiu pentru a forma un strat de sacrificiu.

3. Metoda de formare a senzorului de presiune conform revendicării 2, în care se folosesc fotolitografia și gravura.

Stratul de materiale de sacrificiu este modelat prin procesul de gravare.

4. Metoda de formare a unui senzor de presiune conform revendicării 3, în care stratul de sacrificiu

Materialul este carbon amorf sau germaniu.

5. Metoda de formare a unui senzor de presiune conform revendicării 4, în care stratul de sacrificiu

Materialul este carbon amorf;

Gazele de gravură utilizate în procesul de gravare a stratului de materiale de sacrificiu includ O2, CO, N2 și AR;

Parametrii în procesul de gravare stratul de material de sacrificiu sunt: ​​intervalul de debit al O2 este de 18 SCCM ~ 22 SCCM, iar debitul de CO este de 10%.

Debitul variază de la 90 SCCM la 110 SCCM, debitul de N2 variază de la 90 SCCM la 110 SCCM și debitul AR.

Intervalul este de 90 SCCM ~ 110 SCCM, intervalul de presiune este de 90 mTOR ~ 110 mTOR, iar puterea de părtinire este

540W ～ 660W。