Aplicabil pentru senzorul de presiune Common Rail pentru combustibil Passat 06E906051K

1. O metodă pentru formarea unui senzor de presiune, cuprinzând:

Furnizarea unui substrat semiconductor, în care un prim strat dielectric interstrat, un prim strat dielectric interstrat și un al doilea strat dielectric interstrat sunt formate pe substratul semiconductor.

O placă de electrod inferioară în primul strat dielectric interstrat, un prim electrod reciproc situat pe același strat cu placa de electrod inferioară și distanțat unul de celălalt.

Straturi de conectare;

Formarea unui strat sacrificial deasupra plăcii polare inferioare;

Formarea unei plăci de electrod superioare pe primul strat dielectric interstrat, primul strat de interconectare și stratul sacrificial;

După formarea stratului de sacrificiu și înainte de formarea plăcii superioare, în primul strat de interconectare

Formarea unei caneluri de conectare și umplerea canelurii de conectare cu placa superioară pentru a se conecta electric cu primul strat de interconectare; Sau,

După formarea plăcii de electrod superioare, se formează caneluri de conectare în placa superioară a electrodului și primul strat de interconectare, care

Formarea unui strat conductiv care conectează placa de electrod superioară și primul strat de interconectare în canalul de conectare;

După conectarea electrică a plăcii superioare și a primului strat de interconectare, îndepărtarea stratului de sacrificiu pentru a forma o cavitate.

2. Procedeu de formare a unui senzor de presiune conform revendicării 1, caracterizat prin aceea că în primul strat

Metoda de formare a stratului de sacrificiu pe stratul dielectric interstrat cuprinde următoarele etape:

Depunerea unui strat de material sacrificial pe primul strat dielectric interstrat;

Modelarea stratului de material de sacrificiu pentru a forma un strat de sacrificiu.

3. Procedeu de formare a senzorului de presiune conform revendicării 2, caracterizat prin aceea că se utilizează fotolitografia şi gravura.

Stratul de material sacrificial este modelat prin procesul de gravare.

4. Procedeu de formare a unui senzor de presiune conform revendicării 3, caracterizat prin aceea că stratul de sacrificiu

Materialul este carbon amorf sau germaniu.

5. Procedeu de formare a unui senzor de presiune conform revendicării 4, caracterizat prin aceea că stratul de sacrificiu

Materialul este carbon amorf;

Gazele de gravare utilizate în procesul de gravare a stratului de material sacrificial includ O2, CO, N2 şi Ar;

Parametrii în procesul de gravare a stratului de material sacrificial sunt: ​​intervalul de curgere al O2 este de 18 SCCM ~ 22 SCCM, iar debitul de CO este de 10%.

Debitul variază de la 90 SCCM la 110 SCCM, debitul de N2 variază de la 90 SCCM la 110 SCCM și debitul de Ar.

Intervalul este de 90 SCCM ~ 110 SCCM, domeniul de presiune este de 90 mtor ~ 110 mtor, iar puterea de polarizare este

540w~660w.