Senzorul de presiune semiconductor utilizat frecvent folosește placa de siliciu de tip N ca substrat. În primul rând, placa de siliciu este făcută într-o parte elastică care poartă stres, cu o anumită geometrie. La partea care poartă stres a plafonului de siliciu, se fac patru rezistențe de difuzie de tip P de-a lungul diferitelor direcții de cristal, iar apoi se formează o punte de piatră cu patru brațe de piatră de grâu cu aceste patru rezistențe. În cadrul acțiunii forței externe, modificările valorilor de rezistență devin semnale electrice. Această punte de piatră de grâu cu efect de presiune este inima senzorului de presiune, care se numește de obicei pod piezoresistiv (așa cum se arată în figura 1). Caracteristicile podului piezoresistiv sunt următoarele: ① Valorile de rezistență ale celor patru brațe ale podului sunt egale (toate R0); Effectul piezoresistiv al brațelor adiacente ale podului este egal ca valoare și opus în semn; Coeficientul de temperatură de rezistență a celor patru brațe ale podului este același și sunt întotdeauna la aceeași temperatură. În fig. 1, R0 este valoarea de rezistență fără stres la temperatura camerei; RT este modificarea cauzată de coeficientul de temperatură de rezistență (α) când temperatura se schimbă; Υ rδ este schimbarea rezistenței cauzată de tulpină (ε); Tensiunea de ieșire a podului este u = i0 Δ rδ = i0rgδ (puntea sursă de curent constant).

Unde i0 este curent de sursă de curent constant și e este o tensiune sursă de tensiune constantă. Tensiunea de ieșire a podului piezoresistiv este direct proporțională cu tulpina (ε) și nu are nicio legătură cu RT cauzată de coeficientul de temperatură de rezistență, ceea ce reduce considerabil deriva de temperatură a senzorului. Cel mai utilizat senzor de presiune semiconductor este un senzor pentru detectarea presiunii fluidului. Structura sa principală este o capsulă realizată din siliciu monocristalin (așa cum se arată în figura 2). Diafragma este făcută într -o cană, iar partea inferioară a cupei este partea care poartă forța externă, iar podul sub presiune se face pe fundul cupei. Piedestalul inelar este confecționat din același material de cristal cu un singur siliciu, iar apoi diafragma este legată de piedestal. Acest tip de senzor de presiune are avantajele sensibilității ridicate, volumului mic și solidității și a fost utilizat pe scară largă în aviație, navigație spațială, instrumente de automatizare și instrumente medicale.