Senzorul de presiune semiconductor utilizat în mod obișnuit folosește ca substrat o placă de siliciu de tip N.În primul rând, placheta de siliciu este transformată într-o piesă elastică care poartă o anumită geometrie.La partea care suportă tensiuni a plachetei de siliciu, sunt realizate patru rezistențe de difuzie de tip P de-a lungul diferitelor direcții ale cristalului, iar apoi se formează o punte Wheatstone cu patru brațe cu aceste patru rezistențe.Sub acțiunea forței externe, modificările valorilor rezistenței devin semnale electrice.Această punte de piatră de grâu cu efect de presiune este inima senzorului de presiune, care este de obicei numit punte piezoresistivă (așa cum se arată în Figura 1).Caracteristicile punții piezoresistive sunt următoarele: ① valorile rezistenței celor patru brațe ale punții sunt egale (toate r0);② Efectul piezoresistiv al brațelor adiacente ale podului este egal ca valoare și opus ca semn;③ Coeficientul de temperatură de rezistență al celor patru brațe ale podului este același și sunt întotdeauna la aceeași temperatură.În fig.1, R0 este valoarea rezistenței fără stres la temperatura camerei;RT este modificarea cauzată de coeficientul de temperatură al rezistenței (α) atunci când temperatura se modifică;Υ Rδ este modificarea rezistenței cauzată de deformare (ε);Tensiunea de ieșire a punții este u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (punte sursă de curent constant).

Unde I0 este curent constant al sursei de curent și e este tensiune constantă a sursei de tensiune.Tensiunea de ieșire a punții piezoresistive este direct proporțională cu deformarea (ε) și nu are nimic de-a face cu RT cauzată de coeficientul de temperatură al rezistenței, care reduce foarte mult deviația de temperatură a senzorului.Cel mai utilizat senzor de presiune semiconductor este un senzor pentru detectarea presiunii fluidului.Structura sa principală este o capsulă din siliciu monocristalin (așa cum se arată în Figura 2).Diafragma este transformată într-o cupă, iar fundul cupei este partea care suportă forța externă, iar puntea de presiune este realizată pe fundul cupei.Soclul inel este realizat din același material de siliciu monocristal, iar apoi diafragma este lipită de piedestal.Acest tip de senzor de presiune are avantajele sensibilității ridicate, volumului mic și solidității și a fost utilizat pe scară largă în aviație, navigație spațială, instrumente de automatizare și instrumente medicale.